XRF 是一種可靠的技術，結合了高精度和準確性以及簡便、快速的樣品制備等優點。 它可以在要求實現高處理量的工業環境下自動完成使用準備，并且提供定性和定量的樣品相關信息。 這種定性和定量信息的輕松組合還使快速篩選（半定量）分析成為可能。
 

XRF 是一種原子發射方法，類似于光發射光譜 (OES)、ICP 和中子活化分析（伽馬光譜）。 此類方法可以測量由樣品中的帶電原子發出的“光線”（此情況下為 X 射線）的波長和強度。 在 XRF 中，來自 X 射線光管主 X 射線光束的輻照會使熒光 X 射線的輻射呈現出樣品中所存在元素的分散能量特征。 
 

用于樣品 X 射線熒光光譜分離（分散）、識別和強度測量的技術催生了兩種主要類型的光譜儀：波長色散式 (WDXRF) 和能量色散式 (EDXRF) 系統。