能量色散X射線熒光光譜儀的主要優勢可以概括為以下幾點:

 

⑴是一種真正意義上的無損檢測方法。被測樣品在測量前后，無論其化學成份、重量、形態等等都保持不變；

⑵分析速度快，可以預篩選大量的樣品。一般情況下，檢測一個樣品中的諸元素只需3分鐘左右；

⑶精度高，準確度好。可以快速(半)定量的分析一個樣品中鉛、鎘、汞、鉻(不是六價鉻)及溴(不是PBB或PBDE)的含量水平；

⑷自動化程度高。

 

二、能量色散X射線熒光光譜分析的劣勢及其改進

 

    能量色散X射線熒光光譜分析也有它的局限性。我們知道，如同其他X射線熒光光譜法一樣，EDXRF對原子序數較低的輕元素(Na，Mg，Al等)靈敏度低;從使用角度講，特征X射線的穿透力很有限，只能檢測表面;不能區分元素的化學種類，如六價鉻或PBB/PBDE;另外，作為高科技產品，EDXRF對環境條件要求苛刻一些，這就意味著使用時必須小心的執行校正，考慮光譜干擾、基體效應以及其他影響。

 

    為了提高EDXRF在輕元素的適用范圍，可以對樣品室進行抽真空處理，這樣可以減少空氣對譜峰的吸收，使得收譜過程中的干擾降到zui低;另外，可在X射線管與樣品之間放置耙子而使發射光產生偏振，原子發射的各元素X射線偏振信號通過光電電離之后，由固定式半導體檢測器或封氣正比計數器檢測出來，可以提高初次激發的靈敏度。